京都玉崎有限公司宣告:日本MIYUKI(美幸輝)MS-VP 真空壓力復合控制器 已抵達蘇州倉并完成全功能驗收,即日起供應真空鍍膜(PVD/CVD)、半導體晶圓傳輸、冷凍干燥機及真空熱處理爐等關鍵工藝設備。MS-VP是一款專為復雜真空環境設計的復合式壓力控制器,集成了真空度控制與正壓控制功能于一體,完好解決了從大氣環境到高真空環境的全過程壓力管理難題。
MS-VP的技術核心在于其獨特的雙傳感器信號采集技術。設備內部可同時接入大氣壓型壓力傳感器(用于監測正壓及接近大氣壓的真空區域)與皮拉尼/電容薄膜規(用于監測低真空至高真空區域)。控制器內置的智能算法能夠自動識別當前壓力區間,并平滑切換控制信號,避免了單一傳感器在全量程下的測量盲區。其控制模式極為靈活,支持“設定點控制"、“外部模擬量控制"以及“程序控制"。特別是程序控制功能,允許用戶預設多達20步的壓力變化曲線(如斜坡上升、階梯保持、斜坡下降),非常適用于需要復雜工藝配方的熱處理與鍍膜流程。
本批MS-VP到貨產品均附帶原廠校準證書,京都玉崎技術人員對其壓力開關量輸出精度進行了逐臺復檢。設備配備了3路或以上的繼電器輸出,可分別設置為真空到達信號、壓力異常報警及系統故障停機信號,為工藝安全提供了多重保障。人機交互方面,MS-VP采用了高分辨率的圖形點陣液晶屏,能夠以數字、曲線或模擬表盤等多種形式直觀展示壓力變化趨勢。針對真空系統易受氣體成分影響的特點,MS-VP還提供了氣體類型補償系數設置,進一步提升了測量與控制的準確性。
考慮到真空設備通常價格昂貴且停機成本高昂,京都玉崎為MS-VP客戶提供了多方位的增值服務。我們不僅提供標準的設備安裝指導,還可協助客戶進行真空系統的泄漏率測試與PID參數優化。對于使用進口真空泵的客戶,MS-VP的標準信號輸出可直接與泵的頻率控制端對接,實現真正的閉環變頻控制,顯著降低能耗。MS-VP的加入,使得京都玉崎在真空工藝控制領域的解決方案更加完整,為客戶提升產品良率與生產效率奠定了堅實基礎。